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薄膜应力及基底翘曲测试设备FSM 128
薄膜应力及基底翘曲测试设备简介 FSM率先推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆(Optilever)技术,主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。该设备频繁使用在分析解决诸如薄膜裂纹,分层
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薄膜应力及基底翘曲测试设备FSM 500TC
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FSM128 薄膜应力测试设备应力测试及晶圆翘曲测试
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薄膜应力和硅片翘曲检测仪
基于Optilever激光扫描技术。 使用应力控制,避免薄膜分层,形成凹凸状。 光学设计减少图形衬底对激光的干涉。 在TSV, 半导体以及LED工艺上控制基底弯度。 在平板显示行业,控制玻璃的平整度
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FSM-6000LE玻璃表面应力测试仪
FSM-6000LE玻璃表面应力测试仪简介:1. FSM-6000LE玻璃表面应力仪是用于测量化学强化和物理强化玻璃的表面应力。通过让光沿着玻璃表面传播,根据光弹性技术测出其表面的应力以及应力层深度
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FSM 128薄膜应力及基底翘曲测试设备
设备,装备有光学扫描系统。 薄膜应力及基底翘曲测试设备简介 FSM率先推出基于商业化应用的激光扫描光学杠杆(Optilever)技术,主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量。该设备频繁
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KLA台阶仪 D-300 探针式 表面轮廓仪
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Alpha-Step D-600 台阶仪
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Alpha-Step D-500台阶仪
:用户友好的软件界面主要应用 台阶高度:2D台阶高度 纹理:2D粗糙度和波纹度 形式:2D翘曲和形状 应力:2D薄膜应力工业应用 大学,研究实验室和研究所
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P-7 台阶仪
化主要应用 台阶高度:2D和3D台阶高度 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度 形状:2D和3D翘曲和形状 应力:2D和3D薄膜应力 缺陷复检:2D和3D缺陷
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